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演講摘要：

高頻熱等離子體具有能量密度大、溫度高、冷卻速率快、無電極污染、反應(yīng)體系可控等優(yōu)點，在制備高純粉體和球形粉體方面具有明顯的優(yōu)勢和潛力。本報告首先概括介紹了感應(yīng)等離子體在制備特種粉體方面的研究進展，然后圍繞球形氧化硅粉體，詳細介紹了感應(yīng)熱等離子體在氧化硅粉體球形化、納米球形氧化硅制備和無羥基高純石英澆鑄等方面的研究，感應(yīng)熱等離子體不僅能夠通過熔融球化制備出球形氧化硅粉體，還可以采用硅粉/四氯化硅氧化制備出納米球形氧化硅，而且，感應(yīng)熱等離子體為不含羥基氧化硅制備提供有利的保證，感應(yīng)熱等離子體為高品質(zhì)氧化硅粉體的發(fā)展提供了新的技術(shù)途徑。